智光電氣（002169）、飛凱材料（300398）、南大光電（300346）、藍英裝備（300293）、強力新材（300429）、容大感光（300576）、晶瑞股份（300655）、蘇大維格（300331）。

前四大光刻機上市公司相關介紹如下：

1、智光電氣（002169）

智光電氣主要從事電網安全與控制設備、電機控制與節(jié)能設備、供用電控制與自動化設備及電力信息化系統(tǒng)研發(fā)、設計、生產和銷售。公司已建立了以測控技術、電力電子技術、通信技術和應用軟件技術為基礎的核心技術平臺，形成了面向電氣控制與自動化前沿領域的產品布局。

2、飛凱材料（300398）

公司成立于2002年，總部和研發(fā)中心位于上海市寶山，在安徽省安慶市、廣東省惠州市、江蘇省南京市均建有大規(guī)模生產基地；并在杭州、蘇州、深圳、臺灣高雄，以及美國舊金山、亞特蘭大、日本、韓國首爾、印度班加羅爾等地設有辦事機構或聯(lián)絡點，構成了以上海為中心的國內外銷售服務網絡。

3、南大光電（300346）

南大光電電子特氣產品已在LED行業(yè)取得主要的市場份額，并實現了在IC行業(yè)的快速替代進口，得到了廣大客戶的高度認可，成為公司新的利潤增長點。

4、藍英裝備（300293）

蘭英裝備經營專業(yè)機械和自動化電氣控制系統(tǒng)的設計、生產、安裝、調試、銷售及相關的科技信息咨詢服務。